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Expert™ CSI LAGM™ ASAS II Reticle Loadport FWBS Sorter Series BWS Series PLVS Series

CSI

線上化學品全自動分析系統
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  • Chemical Sampling Inspection(CSI)為一自動化進樣系統, 以感應耦合電漿質譜儀(ICP-MS)為偵測器, 可以快速監測半導體製程用之化學品(酸、鹼、有機)中的金屬雜質。
  • 酸、鹼及有機化學品一台分析，超潔淨管路，專管專用，智慧分析，自動判斷數據，並產生告警訊息。偵測極限可達sub ppt等級。
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