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Expert™ CSI LAGM™ ASAS II Reticle Loadport FWBS Sorter Series BWS Series PLVS Series

Expert™ FAB/PS/LAB

全自動化氣相分解裝置
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  • ExpertTM以全自動化的方式，大幅減低人為操作，經由氣相分解法（Vapor Phase Decomposition），將晶圓（6吋、8吋、12吋、18吋）表面金屬不純物，以雙氧水與氫氟酸的混和液掃描收集後，再經由自動取樣器進入感應耦合電漿質譜儀(ICP-MS)分析，進行後續各不純物元素計量，得到表面金屬不純物的濃度(atoms/cm2)。
  • 偵測極限可達E7 atoms/cm2等級。
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