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Expert™ CSI LAGM™ ASAS II Reticle Loadport FWBS Sorter Series BWS Series PLVS Series

LAGM™

雷射檢測系統
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  • 固體樣品直接進樣分析 : 以雷射剝蝕樣品表面, 即時將樣品以負壓吸引至傳輸管中,經由GED 將樣品基質由Air 交換為Ar, 再進入感應耦合電漿質譜儀(ICP-MS)分析。使用MSAG (metal standard aerosol generator) 以離子態標準品進行標準添加定量, 解決了表面分析tool 普遍有的無法準確定量的問題。
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